四氟化碳 CAS#: 75-73-0

四氟化碳（CF4），又稱四氟甲烷，相對分子量為88，熔點為-183.6℃，沸點為-127.8℃，是一種無色無味的不可燃氣體。常溫下，四氟化碳屬于易壓縮性氣體，揮發性較高，是最穩定的有機化合物之一，不易溶于水。四氟化碳與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物。四氟化碳在微電子工業等領域具有重要的應用，作為蝕刻二氧化硅和氮化硅的介質材料已成熟運用多年，也是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體。

產品指標

產品用途：

四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，與高純氮氣的混合體可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。此外，四氟化碳在低溫下可作為低溫流體應用，在制冷、氣體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體泄漏檢驗劑領域中有一定的應用空間。        

包裝、貯存：

四氟化碳充裝在鋼質無縫氣瓶中，鋼瓶容積分別為8 L、44 L、47 L，具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化碳儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房中，遠離火種、熱源，庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。存應備有泄漏應急處理設備。