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          半導體制程(支撐)材料

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          四氟化鈦 CAS#: 7783-63-3

          更新時間:2020-07-04 點擊數:2786

          四氟化鈦 CAS#: 7783-63-3

          四氟化鈦,又稱氟化鈦,分子式為TiF4,分子量為123.86,熔點為284℃,是一種具有吸濕性的白色粉末。四氟化鈦溶于冷水中可分解,溶于硫酸、乙醇和吡啶,不溶于乙醚。四氟化鈦在微電子工業、石化等行業中具有重要的應用。

          產品指標

          產品用途:

          在電子工業中,四氟化鈦可用于成膜材料或離子注入摻雜,形成硅化鈦或鈦膜,制作低電阻、高熔點的電路互聯線和柵極。四氟化鈦在石化行業中可用作催化劑。  

          包裝、貯存:

          四氟化鈦儲存于密封的銅質容器中,包裝規格為10g、100g,具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化鈦儲存于陰涼、通風的庫房,庫溫不宜超過37℃,保持容器密封,遠離火種、熱源。儲區應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。



          備案號:魯ICP備17016486號-5

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