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六氟化鎢 CAS#: 7783-82-6
六氟化鎢,分子式為WF 6,分子量為297.830,沸點為17.5℃,熔點為2.3℃,室溫下是一種無色氣體,有強刺激性,有毒,毒性與氟相似。六氟化鎢能溶于多數有機溶劑,遇水分解,在空氣中被潮氣分解而強烈冒煙。其化學性質活潑,幾乎能和所有的金屬(除金和鉑)反應,對鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼也有腐蝕性。在鎢的氟化物中,六氟化鎢是唯一穩定并被工業化生產的品種,其主要應用領域是在電子工業中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規模集成電路(LSI)中的配線材料。
產品指標

產品用途:
六氟化鎢在電子工業中可作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料,還可用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。此外,六氟化鎢還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。
包裝、貯存:
六氟化鎢充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8L、44L、47L。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。六氟化鎢儲存干陰涼、干燥、通風良好的庫房中,遠離火種、熱源。儲區應備有泄漏應急處理設備。